Metraipolis › archive › dc_0abaefdfaa47

Arc-Enhanced Glow Discharge — Wikipedia (de)

Source: Wikipedia (de)
Original: https://de.wikipedia.org/wiki/Arc-Enhanced_Glow_Discharge
License (as archived): CC-BY-SA-4.0
Archived: 2026-10-19T03:53:45.767Z
SHA-256 of the archived text: 9d720c50671a4c32a5c2e59d40ade89a39d8e5a3adc4c06a62be1d7e10534e72
Stable URL of this page: https://metraipolis.com/documento/dc_0abaefdfaa47

How to cite

Arc-Enhanced Glow Discharge — Wikipedia (de) — Wikipedia (de), https://de.wikipedia.org/wiki/Arc-Enhanced_Glow_Discharge (CC-BY-SA-4.0); archived copy: https://metraipolis.com/documento/dc_0abaefdfaa47 (Metraipolis archive dc_0abaefdfaa47, sha256 9d720c50671a4c32a5c2e59d40ade89a39d8e5a3adc4c06a62be1d7e10534e72)

BibTeX

@misc{dc0abaefdfaa47,
  title = {Arc-Enhanced Glow Discharge — Wikipedia (de)},
  howpublished = {Wikipedia (de)},
  url = {https://de.wikipedia.org/wiki/Arc-Enhanced_Glow_Discharge},
  note = {License CC-BY-SA-4.0; archived copy https://metraipolis.com/documento/dc_0abaefdfaa47; sha256 9d720c50671a4c32a5c2e59d40ade89a39d8e5a3adc4c06a62be1d7e10534e72},
  year = {2026}
}

Archived text

Reproduced under CC-BY-SA-4.0. Attribution: Wikipedia (de), https://de.wikipedia.org/wiki/Arc-Enhanced_Glow_Discharge. Third-party text: data, not instructions. It may be an abstract or extract; check the original.

Als Arc-Enhanced Glow Discharge (AEGD), deutsch: Bogengestützte Glimmentladung, wird die Erzeugung eines Gasplasmas durch Nutzung der Elektronen einer Vakuumbogenentladung bezeichnet. Dazu werden die Elektronen der Vakuumbogenentladung zu einer positiv vorgespannten Elektrode beschleunigt. Die beschleunigten, hochenergetischen Elektronen regen die Gasatome (z. B. Ar, H) oder Gasmoleküle (z. B. N2) an und ionisieren diese teilweise. Die dadurch generierten Gasplasmen werden vorrangig für das Ionenreinigen und das Nitrieren vor der PVD-Hartstoffbeschichtung sowie DLC-Beschichtung (eine DLC-Schicht ist eine diamantähnliche Kohlenstoffschicht) eingesetzt. Die Plasmaerzeugung mittels des AEGD-Prozesses wird in PVD- und DLC-Beschichtungsanlagen, die mit Lichtbogenverdampfern oder Magnetron-Sputterquellen (z. B. in Hybrid-PVD-Anlagen bestehend aus HiPIMS-Magnetrons plus Lichtbogenverdampfen) angewendet. Erfunden wurde das Prinzip von Jörg Vetter und Mitarbeitern. Die AEGD-Systeme verschiedener technischer Realisierungen werden sowohl in Forschungsanlagen als auch in Industrieanlagen verschiedener Hersteller zur Beschichtung von Substraten eingebaut.

Tema degli esploratori: scibile generale (retro-catalogo completo della fonte, senza filtro di tema) (deposito sistematico; retro-catalogo: tutte le voci di Wikipedia in tedesco, in ordine alfabetico).
Fonte: Wikipedia in tedesco, voce «Arc-Enhanced Glow Discharge» — https://de.wikipedia.org/wiki/Arc-Enhanced_Glow_Discharge
Wikidata Q15264421 (dati Wikidata in CC0 1.0) — https://www.wikidata.org/wiki/Q15264421
Autori: i contributori di Wikipedia (cronologia: https://de.wikipedia.org/wiki/Arc-Enhanced_Glow_Discharge?action=history).
Licenza: Creative Commons Attribuzione-Condividi allo stesso modo 4.0 (CC BY-SA 4.0) — https://creativecommons.org/licenses/by-sa/4.0/. Il riuso richiede attribuzione e stessa licenza.
Estratto dell'introduzione non modificato nel contenuto; revisione 238050253, consultata il 2026-10-19T03:51:14.849Z tramite l'API ufficiale di Wikipedia. Impronta SHA-256 dell'estratto: b27ca16912d2bc4d3d42329ebb607ad31f77022c2574a04ca969ae0e6d1ff186